Принцип действия микроскопа основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратно рассеянных электронов для формирования изображения на экране управляющего компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Формирование изображения в микроскопе происходит за счет модуляции яркости соответствующей точки экрана сигналами, поступающего с детектора электронов. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Основные технические характеристики:
Разрешающая способность электронного пучка
Режим высокого вакуума:
1,0 нм при 30 кВ
Режим низкого вакуума до 200 Па:
1,3 нм при 30 кВ (режим вторичных электронов);
3,0 нм при 3 кВ (режим вторичных электронов);
Режим сверхнизкого вакуума до 4000 Па:
1,3 нм при 30 кВ (режим вторичных электронов);
Диапазон регулирования увеличения, крат
от 150 до 4000000
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кэВ
от 1 до 30
Минимальная достижимая энергия электронов первичного пучка в режиме торможения пучка, эВ
200
Диапазон значений токов электронного пучка, нА
от 0,001 до 200
Максимальный размер изображения, пикселей
6144х4096
Максимальная скорость счета импульсов энергодисперсионного спектрометра, импульсов/сек
1500000
Масса, включая все комплектующие, кг, не более
970
Габаритные размеры основных составных частей (ДхШхВ), мм, не более: - основной блок
- рабочий стол с управляющим компьютером
900x1360x1850
1300x800x700
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В
от 110 до 240
Потребляемая мощность, не более, Вт
3000
Операторы:Торшинина Н.А., Юров М.Ю.
